低溫探針臺LH-CPX

發布時間:2025-01-03 16:58 1107次瀏覽 作者:藍海科儀(天津)儀器儀表有限公司

此產品由探針臺、控溫儀、CCD顯微鏡、液氮罐、機械真空泵（若想要更高真空度可用分子泵替換）使用液氮自增壓連續流制冷，具有二級熱交換平臺，溫度范圍80K~500K。

此產品具有六個探針臂接口，同主腔體通過真空波紋管連接，X方向位移距離50mm，Y方向位移距離25mm，Z方向位移距離25mm，所有方向位移精度3μm。其中安裝五個直流探針臂和一個光纖探針臂，直流探針臂安裝直流DC探針，光纖探針臂上跳線長30cm，光纖波長650nm，使用FC/APC接口，光纖芯直徑0.4μm。

樣品臺大小為2英寸，對地絕緣且通過三同軸電纜貫穿探針臺腔體，樣品臺上安裝溫度傳感器和加熱器，控溫精度0.1K，溫度分辨率0.01K。

機械泵組：容量為2L，極限真空小于5x10-1Pa。

CCD：像素為200萬 1920X1080，變倍調焦鏡頭為0.7X~4.5X，電子倍率為30~50倍，顯示屏為21.5寸。

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